真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,包膜式氦测漏设备,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,氦测漏设备,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,因为液氮来源不同,大多数质量较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较严重,故成本也较高。
氢气检漏法的工艺和方法
批量生产的用户采用上述控制器进行示踪气体的充注,达到收到压力后控制器会给出提示,这时操作人员即可进行检漏操作,然后通过控制器把气体排出。注意不可以直接将气体排在检漏位置,因为这样会造成本底污染,使得后面的检漏无法进行。
工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择),在现场需要查找系统漏点时,先排空制冷剂,然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体,用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。由于氢气比空气轻,所以泄漏出来的氢气都会沿着管道等部件往上跑,并且可以穿透保温材料,使用者可以在部件较高位置进行检漏,比采用其他方式查找漏点要容易得多,真空箱式氦测漏设备,成功率也高很多。
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