影响标准气体量值稳定的因素:
1、气瓶和阀门材料 在气体充装前, 要充分考虑到气体各组分与气瓶材料, 阀门及密封材料的相容性, 作为标准气体的包装容器,吴中区特种气体, 碳钢,铝合金材料已被广泛应用。不同浓度,不同组分的标准气体是否和气瓶材料或阀门材料相容, 直接影响到标准气体的质量。如氟i化氢,特种气体公司,氯i化氢,氟i气,氯i气, 氯甲i烷,氯乙i烷,CH3-Br等与铝产生反应, 不能用铝合金气瓶直接盛装。一定浓度的腐蚀性气体不能选择铜阀而需要选择不锈钢阀。
2、气瓶处理方法 用于盛装标准气体的气瓶,特种气体生产, 内表面需进行常规处理和特殊处理, 以保证标准气体量值的稳定。处理方法包括加热除去气瓶内的水分, 抽真空置换除去空气及其他杂质气体, 内表面涂层使气瓶内表面减少与组份气体的物理吸附或化学反应;内表面钝化使气瓶内表面具有好的惰性, 有利于活泼性气体混合物的量值稳定。对于微量活泼性气体, 正确地选择气瓶处理方法是制备标准气体的关键。
3、组成混合气体各组份原料气的纯度及杂质。除了材料相容性和进行适当的气瓶处理外, 原材料的纯度是另一个值得注意的问题、如果原料中含有和配制组份相同的杂质, 杂质的准确定量就直接影响到组分的量值、如制备氮气为背景气的1ppm二氧化碳标准气体, 除了要知道组分气的纯度外,还要知道高纯氮气中CO2的含量。这样才能给出CO2的准确量值。
特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医i药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。在国民经济高速发展及下游i行业的强劲需求下,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,年均增速达到17%以上。2011年,国内特种气体行业产值规模为296.88亿元,较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元,特种气体行业,较上年增长21.64%,详《中国特种气体行业产销需求与投资预测分析报告》。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
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