高纯六氟化硫
用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;
变压器中的绝缘介质;
金属冶炼中的保护气氛;
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体,广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
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储运
1.运输注意事项:无腐蚀性,可使用通用材料.对液Ar可使用奥氏体不锈钢。Ar一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。在贮运过程中应轻装轻卸,严防容器碰损。液Ar产量小,可以采用类似于小型液氮屏型的液氦容器贮存和运输。采用此类容器时,其内容的支撑必须补强,以适应液Ar较大的密度。
2.储存注意事项:库房通风低温干燥; 轻装轻卸。
(D2)
包装:采用44L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到2-8L的气瓶中。
用途:在半导体、平板显示器、太阳能电池等电子行业在硅烧结或退火工艺中置换氢;应用于核子融合反应。
理化性质: D2是普通氢较重的稳定同位素。它是无色、无味、无毒的可燃气体。其沸点为-249.5℃。与分子氢一样,双原子D2分子也存在正、仲同分异构现象。室温下,D2正-仲异构体混合物的平衡组成为2:1,特种气体检测,这种D2称为常态D2。降低温度,有利于向正D2转化。在20.4K时,平衡混合物含正D297.8%,特种气体行业,此时的D2称为平衡D2。
注意事项:
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃,江苏特种气体,相对湿度不超过80%。应与氧化剂、卤素分开存放,特种气体用途,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。
密闭操作,加强通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员穿防静电工作服。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、卤素接触。在传送过程中,钢瓶和容器必须接地和跨接,防止产生静电。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
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