我们通常称的质量流量控制器,它的全称是热式气体质量流量控制器,英文:Mass Flow Controller(简称MFC);而质量流量计的全称是热式气体质量流量计,英文名:Mass Flow Meter(简称MFM)。它们是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。
松盛测控本体带数显流量控制器/流量计
质量流量计,是一种计量和监测的仪表;而质量流量控制器,不但具有质量流量计的功能,更重要的是:它能够自动地控制气体的流量,也就是说,用户可根据情况的需要,来进行流量的设定,流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离当初的设定值。简单来说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。
所以总的来说,一般情况下,仅对气体流量进行计量或监测的话,用质量流量计就能够满足要求;而如果是需要对气体流量进行控制的话,则需要用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
流量控制器使用注意事项介绍
在使用热式气体质量流量控制器是应注意,额定电源电压为24VDC,功率与量程无关。电压或功率不足可能影响设备工作,如果电源针脚接错可能导致电路板烧坏,无法通讯,请勿在气源关闭的情况下打开控制器设定值,否则阀门会持续发热,气体流量计价格,影响寿命。本公司的气体质量流量控制器在上游或下游安装时,都没有直管段的要求,可以任意位置安装或倒置安装。
流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺,将高精度加热器,温度传感器或电堆封装在单一芯片内,构成流量测量的主要传感单元(Figure 2) ,通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景,薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,数字气体流量计价格,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,混合气体流量计价格,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,流量计价格,甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造更大的空间。
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