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氦质谱检漏仪

检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题,同样在装备中也离不开检漏,弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏仪,本文主要真对氦质谱检漏仪原理及方法进行综述。

氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15Pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,北京电子器件氦检漏设备,在挡板的作用下,氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到,单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,电子器件氦检漏设备生产厂家,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性:

①氦气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果氦气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的氦气;

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;

③氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;

④氦气是惰性气体,化学性质稳定,电子器件氦检漏设备哪家好,不会腐蚀和损伤任何设备;

⑤氦气无毒,不凝结,极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氮相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氨峰时,不易受其他离子的干扰,电子器件氦检漏设备价格,因此就降低易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。

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