方案特点:A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。光学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区;2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,净化车间维护,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
洁净房装修:天花板:洁净区及生产区域用双层保温(PU)彩钢板,无尘明亮,色灰白,厚50mm。符合电子厂房洁净防静电要求。间隔:洁净区及生?区用双面彩钢保温(PU)板围护及间隔。洁净车间内间隔与地面及无花交角做圆弧及阴角接口,多晶硅净化车间维护,防积尘及易於卫生清洁。密闭门:单扇门:900*2000,上做玻璃观察窗(同间隔墙平窗尺寸),装通道锁,门及门框采用不湫钢制作。地面:防静电规范 A.洁净区水泥地面经处理后做3mm防静电环氧地坪。符合欧洲EN548标准和要求。防火性能符合:DIN4102-1,B1级:抗燃烧性符合ISO06923:难燃:抗静电性<+/-100V 抗化学性能符合EM423:耐稀酸、油脂、及乙醇、石渍溶剂等。具有不吸尘、不吸灰的特性。柱子:洁净区柱子用彩钢板全包边,光电显示净化车间维护,并作回风技术夹层。风淋室:按规范要求,洁净房的风淋室设计双人,2个:
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