氦质谱检漏仪故障与处理
内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,天津真空氦质谱检漏仪,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动,此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
氦质谱检漏仪的主要及时指标
北京科创鼎新真空技术有限公司(简称:科创真空)是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。
1. 较小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率显示的范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 启动时间:≤5min
4. 响应时间:≤1s
5. 检漏口的较高压力:1500Pa
6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A
7. 工作环境:5-35℃
8. 相对湿度:≤80%
9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)
10. 重量:64kg
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检漏仪的故障和处理
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。
2 本底信号不稳定
1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。
2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,真空氦质谱检漏仪生产厂家,检查电源电压是否稳定,真空氦质谱检漏仪品牌,检漏仪应有可靠的接地。
3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,被污染。
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