电子/线路板制造是一种高度精密化的工业,一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量,因此制造过程均要求在严格控制下的洁净室中操作。洁净室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在,并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。电子/线路板芯片制备到器件封装,对生产环境空气品质都有较高的要求,空气品质关系着成品率和产品品质。
洁净空调系统设计原则:投资合理原则:初投入符合经济节约的原则,又满足各生产岗位对温度、湿度、洁净度等洁净环境的要求;运行经济原则:考虑节约能源、运行可靠、维护简单,线路板净化车间施工,减少日后运行及维护费用。节约的运行费用符合长期的经济原则。技术原则:净化系统送风口采用定风量阀设计,配合环境监测系统,保证洁净区各参数恒定,线路板净化车间装修,节省能耗。耐用原则:壁板选用PU彩钢板;主机等主要材料选用有名的厂家品牌。
和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,槐荫线路板净化车间,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
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