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搭配Probe card测试适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品电动型chuck尺寸1200mm，多通道LCR测试仪规格，平坦度土1u（不锈钢或镀金）X，Y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数8～12颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“材质：花岗岩台面+不锈钢可搭配Probe card测试

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