特种气体分类:高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体,对于不同类别的气体,纯度指标不同,大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域;灭菌特种气体由于它的活泼型,杀菌力强、杀菌谱广,对物品损害轻微等优点,已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一,特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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