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泵效是分子泵的重要基本参数，提高传动比是提升泵效更加马上的方法之一，随着着动平衡设备***性的发展趋向，分子泵发电机转子可顺利地在快速转动下稳定运作。随着着管理学的发展趋向，分子泵发电机转子原料也发生了变化，可用硬铝型材、碳纤维、合金材料等高耐磨原料制成，这使发电机转子的传动比得到进一步提高。

为了减少分子泵整机工作时的振动，在泵的设计制造中应采取以下措施：

1、在工艺条件允许的情况下，尽可能提高零部件的加工精度。

2、对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。

3、为了防止产生共振，确保泵安全运转，泵设计时，应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。在轴的初步设计时，应对其临界转速进行验算，至少使其与工作转速相差 20 %左右，否则应改变轴的尺寸或刚性来达到上述要求。

4、对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有减振、隔音效果外，还有利于越过共振区，衰减高频振动和噪音的作用。

5、为减少分子泵的振动向外传递以及减少外界振动对分子泵的影响，在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫以起到隔振作用。

装配时泵内一定要保持干燥、清洁。将各机座的油泵放在*下面， 然后依次重叠的直立装配。各机座高真空室的旋片应沿螺旋线顺序相距一齿。预真空室转子的旋片应相距两齿， 两个预真空室的转子端头孔应相对着不要掉头。零部件的互相接触部分应涂以干净的真空泵油以加强润滑。

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广州潽拓光电科技有限公司——ULVAC干式真空泵维修服务中心爱发科复合分子泵保养维修

喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，ULVAC干式真空泵维修服务中心，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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真空泵维修注意事项额定励磁电流，可以通过快速调试自动计算，在**中显示，但是一般这个内部计算的参数并不准确，实测的要更接近电机的真实数据。具体怎么确定，比较罗索，还是自己仔细的解读说明说的相关论述。总之，准确地确定电机数据，比较麻烦的就是矢量控制以及磁化电流的测取。在满足同样风量Q2的情况下，风压H3大幅度降低，功率N3(相当于面积CH3OQ2)随着显著减少，节能效果十分显著。爱发科真空泵维修与保养

从上面的分析还可以看出，调节阀门控制风量，随着风量的减少，风压反而增加；而采用变频调速器调速来控制风量，随着风量的减少，风压大幅度下降。风压下降太多，有可能满足不了工艺要求。即如果工况点在曲线(1)、曲线(2)、H轴所围区域内部，单纯地依靠变频调速器调速将无法满足工艺要求，需要和阀门调节结合才能满足工艺要求。某厂引进的变频调速器，在离心风机中的应用中，因没有设计阀门，单纯地依靠变频调速器调速来改变风机工况点，吃尽了苦头。要么转速太高，风量太大；若降低转速，风压又满足不了工艺要求，吹不进风

真空泵的类型主要由作业所需的气量、真空度或排气压力而定。真空泵作业时，需求注意以下两个方面：尽可能需求在区内，也即是在临界真空度或临界排气压力的区域内运转。依据以上准则，当真空泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选择。

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