当然对工业洁净室来说,生产工艺设备、工具和产品生产所需纯水、纯气、高纯化学品以及稳定的电力供应等也都是洁净厂房产品生产所必须的重要条件。无尘车间建成后的技术经济效益,在进行洁净室设计的时候应该尽量考虑到其灵活性,以便满足方便地进行技术改造,适应产品换代或设备更新的要求。
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洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,水厂净化车间安装,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。
无尘车间可以分为以下几个级别:
1级这个级别的洁净室主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。
10级这个级别的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级很多人认为,这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间,人们常常错误地将100级无尘车间称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于,植如体内物品的制造,手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对特别敏感的的隔离。
1000级这个级别的洁净室主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。100000级十万级洁净室用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,工业也常常使用这一级无尘车间。
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