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北京科仪创新真空技术有限公司
主营：“真空箱式氦检漏设备”,“LNG低温容器抽真空设备”
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氦质谱检漏仪的基本原理与结构
随着科技的迅猛发展，氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
以上内容由科仪为您提供服务，希望对同行业的朋友有所帮助。
氦质谱检漏常见问题
氦质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器，那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢？今天科仪的小编就和大家来一起总结一下！
一、为什么用氦气作为示踪气体？其他气体可以吗？（1）在空气中含量低(只有5 ppm)，环境本底低
（2）惰性气体不易1燃，不易1爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）无毒，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），需要重新对检漏仪做内部较准
（3）氦气比空气轻，喷氦法检漏应注意方向
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附氦气）
（5）不要向环境释放大量氦气
（6）真实的漏率信号应当是快速上升的信号，相对缓慢下降的信号
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注：采用国际单位制时，漏率单位为：Pa?m3/s。
科仪拥有的技术，我们都以质量为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对氦检漏感兴趣，欢迎点击左右两侧的在线客服，或拨打咨询电话。
真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气，自动测漏设备，可以实现漏孔的准确定位； 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以准确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
温馨提示：以上是关于自动测漏设备的详细介绍，产品由北京科仪创新真空技术有限公司为您提供，如果您对北京科仪创新真空技术有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ，您也可以查看更多与行业专用设备相关的产品！
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