使用质量流量控制器注意事项
使用质量流量控制器有四怕:
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
第二怕液体和油污进入MFC,气体质量流量计数字控制模块, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
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流体控制
流体控制是利用流体的各种控制元件(各种泵、阀门、油缸)及液压系统附件(过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等),组成控制闭式回路,以进行自动控制。
液压控制 液压控制用油液作为工作介质,故能把由于功率的损耗而产生的热量,从发生的地方带到别处,这样在一定的功率情况下,可以大大减小部件的尺寸;从负载的影响看,液压系统具有机械上的刚性,用在闭环系统中,定位刚度较大,位置误差较小;与机械机构相比,液压执行器的响应速度较高,能高速启动、制动与反向,同时其力矩—惯量比也较大,因而其加速能力较强;液压传动易实现无级调速,气体质量流量计数字控制模块价格,具有自身润滑等优点。
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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,气体质量流量计数字控制模块报价, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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