真空泵的安装过程
真空泵的安装过程需要确保设备能够安全、稳定地运行,并满足生产需求。以下是关于真空泵安装步骤的详细说明:
1.选择安装场所:真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
2.基础准备:泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保泵运转平稳,振动小。
3.连接管道:泵与系统的连接管道应密封可靠,对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。在连接管路中,用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查泵的极限压力。
4.电源连接:按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
5.冷却水连接:对于有冷却水的泵,应按规定接通冷却水,确保泵在运行过程中能够得到有效的冷却。
6.装配泵体:拆箱后,除去一切包装,检查仪器在运输过程中是否损坏。将旋片装好弹簧后装入转子槽中,试试活动是否良好。装高转子时,先装高真空端的大转子,将带旋片的高转子把紧,将低轴端插入中隔板的轴孔中放正。泵腔中事先应加适量的真空泵油作润滑,并认真注意真空卫生。
7.试运转:泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认泵转向符合规定方向方可投入使用,以防泵反转喷油。
总的来说,真空泵的安装过程需要细致、严谨,确保每个步骤都符合规定要求,以保证设备的正常运行和使用寿命。在安装过程中,应注意安全,避免发生意外事故。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,循环水真空泵报价,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵如何调节供水量
随着真空泵的使用率愈来愈广泛,在设备使用全过程中挑选合适的操作方式,才可以达到更强的使用效果,循环水真空泵公司,为了更好的应用,下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。
当水环真空泵启动操作的整个过程中,可以说是不断供水,循环水真空泵厂家,使其压力平衡,并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围,为了获得标准供水量,节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后,循环水真空泵,适当打开供水阀,然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度,当真空表指针开始波动或下降时,这时的供水量已经不够,重新慢慢打开供水阀门,当真空表指针重新稳定时,这时的供水量为标准供水。
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