显微镜
观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48~75mm目镜:超大视野目镜 10X/22无xian远平场消色差物镜:4X/0.1,10X/0.25,20X/0.4,40X/0.65转化器:四孔转换器载物台:载物台面积300×268mm,移动范围250×250mm焦距调节:同轴粗微动调焦机构,行程24mm照明系统 :6V20W卤素灯,亮度可调滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,从而提高实验效率和灵活性。
装箱清单
1、桌面微型紫外光刻机主机 1台
2、匀胶机 1台
3、热板 2台
4、数显测厚规(千分款) 1只
5、显微镜 1台 (选配)
6、耗材:硅片、掩膜版、SU8光刻胶 (需额外购买)
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
SU8模具制备流程
1.后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,显影机,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)
2.显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
3.清洗
将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
4.检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。
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