SU8模具制备流程
1.后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,匀胶机怎么样,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)
2.显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
3.清洗
将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
4.检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,匀胶机,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案
日常维护
1、定期清理平行曝光机的载台,防止它们因积尘或灰尘而影响加工。
2、保持曝光机的表面清洁,防止灰尘和杂质进入设备内部。
微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,匀胶机设计,从而提高实验效率和灵活性。
匀胶机
调速范围和时间:I档:50~10000转/分,时间0~999s
II档:50~10000转/分,时间0~999s适用:直径5~100mm硅片及其他材料匀胶转速稳定性:±1%胶的均匀性:±2%电极功率:40W,单相110~240V真空泵抽气速率:>60L/min
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
匀胶机公司-匀胶机-顶旭由顶旭(苏州)微控技术有限公司提供。顶旭(苏州)微控技术有限公司是从事“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:周经理。温馨提示:以上是关于匀胶机公司-匀胶机-顶旭的详细介绍,产品由顶旭(苏州)微控技术有限公司为您提供,如果您对顶旭(苏州)微控技术有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ,您也可以查看更多与生物制品相关的产品!
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