检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,汽车行业检漏厂,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
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