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目前世界出货量的型号吸收了的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS-近的位置对正系统(光学目标对准) OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于东京精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。
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