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三工位高压旋转喷淋清洗机
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三工位高压旋转喷淋清洗机
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该机型主要高压喷淋完成清洗,带漂洗带烘干功能;
主要清洗五金配件;
采用南方高压喷洗水泵;
自动感应合门开门功能;
带过滤循环;
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,邯郸单工位旋转喷淋清洗机哪家好,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越,手动单工位旋转喷淋清洗机哪家好,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,全自动单工位旋转喷淋清洗机哪家好,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
单工位旋转喷淋清洗机,包括主体、主体中间的固定机构和主体底端的拆卸机构,全自动单工位旋转喷淋清洗机哪家好,所述固定机构包括固定柱,所述主体的顶端设置有顶壳,所述顶壳的中间设置有操作门,所述固定柱位于操作门的内侧两端,所述操作门的一侧对应于固定柱的位置处设置有连接螺栓,所述连接螺栓的一侧中间对应于固定柱的内部设置有齿轮,所述顶壳的内部两侧对应于固定柱的位置处设置有固定杆,所述固定柱的内部两侧对应于齿轮的位置处设置有齿槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1.通过齿轮和固定柱的设置,有效的使得旋转喷淋清洗机关闭操作门更加便利,只需旋转齿轮带动固定柱卡合固定,不仅使用简便便利,同时节省了时间,使得密封效果较好,有效的放置了旋转喷淋清洗机内部水源的泄漏,且旋转喷淋清洗机清洗后工件表面干净,性能稳定,操作简单,使用寿命长,无死角喷淋,让工件表面及内部无污物残留,降低了工作难度,减少了经济损失。
2.限位滑槽和限位板的设置,有效的使得旋转喷淋清洗机检测维修更加方便,限位板只需通过限位滑槽便可简单的拆卸,使得旋转喷淋清洗机内部展现出,降低了工作难度,节省了时间,增加了旋转喷淋清洗机的使用寿命,增加了工作效率和经济效益。
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