气体质量流量控制器的密封材料如何选择?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。
选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么?
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。质量流量控制器(MFC)除耐压之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类,气体质量流量计控制器报价,流量范围外准确度和接头形式也很重要,气体质量流量计控制器厂家,常见的接头形式有卡套接头和VCR接头,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。
气体质量流量控制器使用注意?
1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,气体质量流量计控制器多少钱,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下,也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时,应在定货时声明,使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀,气体质量流量计控制器, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体,通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀,以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过附录的转换系数进行换算。
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