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Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。激光切割机用的激光混合气体,二维激光切割机床用的四元激光混合气体,主要用于钢材的钣金加工。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,激光混合气现货,如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。
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