激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气,当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体,一般压力要求比较高。中性原子激光中,常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著,所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地),使它广用于扫描读码设备及全像等。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。
如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,激光混合气厂家,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,激光混合气多少钱,可称为第三代激光。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。
近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及,但激光毕竟是一种新的工具,激光加工技术亦不同于传统的加工方法,所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中,曾经遇到各种各样的问题,给很多厂商造成不少困扰。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如ArF, KrF, XeF,南昌激光混合气, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,激光混合气选哪家,所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体,对气体质量要求高,激光混合气配制精度要求高,高纯二氧化碳纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯氦气的纯度要求99.999%,二氧化碳是产生激光的,氦气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。
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