气体质量流量控制器的零点漂移?
微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的,但是如果是零点漂移较大或用户在使用时,气体流量控制器哪家好,对零点漂移的数值有疑问,那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体质量流量控制器和流量计会有零点漂移情况,零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但质量流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移,气体流量控制器公司,而且每次漂移差别很大,就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留,需要打开各种阀门,气体流量控制器,全部排空气体管路,防止设备或管路憋压。
一般造成质量流量计零点漂移的因素有许多,解决质量流量计零漂问题,首先要定期进行零点检查和调整,气体流量控制器报价,二是需要和工艺配合来解决。一般情况下,管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移,出现这种漂移时,要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀(流量控制器不能当做截止阀来使用),使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口,消除管道内的压力和气流,从而达到消除零点漂移。
气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器流速和流量之间的关系
流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种:
体积流量的公式为Q=VS,Q代表气体的体积流量(m/s),V代表气体的平均流速(m/s),S代表气路管道的横截面积(㎡)。
质量流量则是M=ρQ=ρVS,M代表气体的质量流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),Q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM,G代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(N/㎡),M代表气体的质量流量(kg/s)。
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