气体质量流量控制器流速和流量之间的关系
流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种:
体积流量的公式为Q=VS,Q代表气体的体积流量(m/s),V代表气体的平均流速(m/s),S代表气路管道的横截面积(㎡)。
质量流量则是M=ρQ=ρVS,M代表气体的质量流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),Q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM,G代表气体的重量流量(kgf/s),电子流量控制器价格,γ代表气体的介质重度(N/㎡),M代表气体的质量流量(kg/s)。
气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,电子流量控制器,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器显示方式有哪些
1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式,测量的精度高,多款外形尺寸可选,双四位的LED显示,支持电流、电压的输入方式,可带多个控制点、多窗口显示,适用于流量等过程量的监测,是一款非常高的产品。
2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示,除了具有精度等级高,线性精度好以外,电子流量控制器厂家,操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。
3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式,适合多气路以及产品的集成,电子流量控制器报价,一键启动,人机界面,具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。
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