冷冻站配置:制冷主机:按照甲方要求,将空调系统分区1个,则空调主机设计为1台,采用风冷恒温恒湿型空调机,饮料净化工程装修,风量:12000m3/h,冷量34KW,热量36KW。冷源容量配置方案:洁净车间设计冷负荷34KW,采用风冷恒温恒湿型空调机15匹,十万级净化工程装修,制冷量为34KW,满足要求。方案综合考虑空调系统实际运行的特点,不但有足够的装机容量,又能保证洁净厂房连续、可靠运行,而且一次投资节约及运行经济。风管及保温:净化空调系统风道采用镀锌板制作,并按规范进行密封处理。除新风及排风管道外,所有风管均需保温。保温材料用铝箔玻璃棉毡/玻璃棉管:厚度40mm,固体饮料净化工程装修,24K,其导热系数:0.03kcal/mh℃以下,冷水管:50mm/56K保温棉。
洁净系统方案:系统流程:新风经过滤后与回风混合,进入风冷空调机,通过中效过滤器,经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织:1万级间全部采用上送两侧回风,车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道,接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤,以确保空气的含尘浓度较低,减少外部尘源影响,提高洁净室的净化效果,并大大延长高效过滤器的使用寿命,减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量>35m3/h),并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风:有设备排风及工艺要求的房间排风,净化工程装修,此系统由甲方确定方案。
集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。
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