氦质谱检漏仪:
1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。
气密检漏设备
1. 气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品,一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔),环保柜氦测漏系统,再进密性测试,即采用直接检测方法,另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制),对仿形模具内腔进行充气,然后进密检漏设备。
2. 选择上述不同两种方法检测产品的气密检漏设备。仅在气密检漏设备上选择相应产品的泄漏检测程序,程序根据产品的检测标准,提前设定充气时间、保压时间、检测时间、泄压时间及工装治具的基本检测动作。
3. 手动打开气密检漏设备或工装夹具的启动按钮,气密检漏设备自动进入检测环节,可在10-30秒内就能完成检测。
4. 检测时如果产品有大泄漏,即时被判定为不合格。如泄漏值在标准范围内,则合格。泄露值超出标准范围,即是不合格。
真空设备检漏
北京科仪真空技术有限公司(简称:科仪)出资成立,创建于2015年,包膜式氦测漏系统,注册资金500万。科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,氦测漏系统,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。
如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:
在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,真空箱式氦测漏系统,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真空达到稳态,
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