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科迪仪器科技(苏州)有限公司

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平面电机x-y步进工作台的维护与保养平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，北京测试治具，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽。

从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，测试治具供应商，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台经济手动型根据客户需求定制chuck尺寸：4'*4' 6'*6' 8'*8' 12'*12' (可选）X-Y移动行程：4'*4' 6'*6' 8'*8' 12'*12'(可选）chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）

线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，测试治具厂家，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命。

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