导致真空机组压力低的主要原因
伴随着城市规划建设的迅速发展,如今真空机组早在各种项目上普遍应用,优点多多获得了大家认同,对于产品性能要求比较高为了更好的运用,下面咱们一起了解下关于导致真空机组压力低的主要原因有哪些吧。
一旦真空泵机组的压力过低,不仅会导致机组无法正常启动,循环水真空泵厂家,还会对机组产生一些不良影响。因此,当发现机组压力过低时,必须及时查明压力低的原因,循环水真空泵报价,如果真空泵机组没有注水或适当排气,可以检查泵壳和入口管道是否充满液体,吸力过高,检查现有净压头。系统水头过高,检查系统水头,速度过低,检查电机接线是否正确,电压是否正常,透平蒸汽压力是否正常。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,循环水真空泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,循环水真空泵公司,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵机械选择
⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
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