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山东亚世特工业清洗设备有限公司

主营:超声波清洗机,通过式喷淋清洗机,高压喷淋清洗机

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全自动单工位喷淋清洗机生产厂家-山东亚世特放心选购

询盘留言 |投诉|申领|删除 产品编号:586062252                    更新时间:2024-10-15
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  • 主营业务:超声波清洗机,通过式喷淋清洗机,高压喷淋清洗机
  • 公司官网:www.yasiter.cn
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  • 价格说明 : 议定
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  • 物流说明 : 货运及物流
  • 交货说明 : 按订单

投入段:

2-3个承载位置,传感器感知工装篮有无,采用气缸升降移载方式投入,河北单工位喷淋清洗机生产厂家,作动:Z向气缸上升 → X向气缸右移 → Z向气缸下降 → X向气缸退回原点 → 依循此方式将工装篮投入到洗净承载座上.注:本机构设有程序保护功能及SENSOR检知。

洗净段:

主要构成;承载位1个,洗剂槽2个,喷淋槽1个,洗净槽2个,慢提拉槽1个。

承载位:1个,工装篮移入承载位置之后,立刻送入后段洗剂槽。

洗剂槽:2个,使用洗剂(人工添加)+纯水,配超声震荡加强清洗效果,超声强度1800W,频率40/80kHz双频选择,洗剂槽温度设置在40-50度。

喷淋槽:1个,喷淋纯水,纯水来自后段洗净槽,喷淋时需要左右往复移动以增强喷淋效果,温度在40-50度。

洗净槽:2个,纯水,配超声震荡加强清洗效果,超声强度1800W,频率40/80kHz双频选择,洗剂槽温度设置在50-70度。

此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。

该机器设备对于所清洗的目标和所应用的大流量喷洗技术性,偏重于在下列好多个层面作尤其的解决:1整个机械为封闭式构造,架构采用碳素钢框架构造电焊焊接喷涂解决,框架焊缝焊后打磨抛光整平,插口齐整,制做美观大方;底端安裝有调整底脚,便捷校正。2清洗机内腔及储液箱,全部与水触碰的壳体、管路,过滤装置机壳、泵壳及必需的装备均采用厚壁管不锈钢板材制做;3根据自喷能够 消除产品工件的油渍残渣,喷洗工作压力0.4-0.6Mpa;4喷洗腔身体配有自喷管,自喷管上用不锈钢喷嘴,喷嘴及喷头能迅速拆换、拆装,流液遮盖齐备,清洗工作压力有效并可调式,确保清洗品质;5应用清洗液均应用单独的过滤系统能够 确保长期性的清洗;6装有自喷储液槽,手动单工位喷淋清洗机生产厂家,用不锈钢板制做,用隔板分为好多个地区,各自完成对清洗液的过虑、加温、隔板分油;采用电加热器方法,储液槽外裹保温材料,全自动单工位喷淋清洗机生产厂家,储液箱配有进水管、出液口;7储液槽有低液位仪灯闪动警报系统;8在人体的出液口配有过滤网,热对流到储液箱的液态开展粗过虑,过滤网能便捷的从机器设备上取下清除;9有效的清洗加工工艺进而做到好的清洗实际效果;

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