广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵
Agilent TV903 安捷伦涡轮分子泵保养
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真空泵的使用过程注意哪些?
1:真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,温度不得超过80C。
2:真空泵维修保养如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
3:真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,安捷伦真空分子泵定期保养,然后停止电机
4:真空泵在工作一个月内,经100小时更换润滑油,安捷伦真空分子泵维修费用,以后每个500小时,换油一次
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵(10-3至10-8托)或极高机械泵(<10-8托)的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
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