真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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发电机氢气系统详解
发电机内的氢气在发电机端部风扇的驱动下,以闭式循环方式在发电机内作强制循环流动,使发电机的铁芯和转子绕组得到冷却。其间,氢气流经位于发电机四角处的氢气冷却器,经氢冷器冷却后的氢气又重新进入铁芯和转子绕组作反复循环。氢冷器的冷却水来自闭式循环冷却水系统。
汽轮发电机的冷却方式为整体全封闭,内部氢气循环,定子绕组水内冷,定子铁芯及端部结构件氢气表面冷却,转子绕组气隙取气氢内冷的冷却方式。
氮气和氢气的混合气的用途
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,板式换热器氦测漏系统,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,因为液氮来源不同,大多数质量较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较严重,故成本也较高。
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