检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,家电行业氦检漏厂,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法,如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用,检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外技术,具有灵敏度高,反应快,开机时间短等特点,是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。检漏仪高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
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