洁净室施工可以分为6个子系统,总体能分为洁净系统和机电系统,分别占洁净室工程的50%,50%。洁净室施工需要具备较强的基础和技术实力,光电显示净化车间,属于技术密集型,毛利相对较高。对于集成电路项目和新型显示项目,光电显示净化车间厂家,一般来说,洁净室施工占总投资比例10%-15%,土建施工占总投资比例6-10%。总投资中70-80%投入到固定资产,固定资产中20-30%投入到厂房建设中,厂房建设可以分为3个部分,工程设计、土建施工、洁净室施工,其分别占的比例为2-7%,30-40%,光电显示净化车间造价,50-70%。
和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,光电显示净化车间装修设计,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
为了达到洁净室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等,在洁净室的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。
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