使用方法该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,桌面光刻机价格,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
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顶旭光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,桌面光刻机,顶旭桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。
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