真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,环保柜氦检漏设备,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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氢气检漏法
钠焰法
钠焰法的测试尘源为多分散相氯化钠盐雾,“量”为含盐雾燃烧时氢气火焰的亮度。
盐水在压缩空气的搅动下飞溅,经干燥形成微小盐晶体颗粒并进入风道,在过滤器前后分别采样。
含盐雾气样使氢气火焰的颜色变蓝、亮度增加,以火焰的亮度来判断空气的盐雾浓度,并以此确定过滤器对盐雾的过滤效率。
主要检测仪器为火焰光度计,该方法只能海绵检测灵敏度不高,不能对超过滤器检测。
氢气检漏设备
(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156),无毒性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素,有着很多的优点。
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