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苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司
主营：气体管道安装,特种气体,标准气体,生物容器等
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高纯六氟化硫
用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；
变压器中的绝缘介质；
金属冶炼中的保护气氛；
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
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第6年
