电磁流量计流体控制注意事项
在工作时,铂丝检测元件用直流电流加热,温度大概比液体温度高出20°c左右,流量计的流体流经发生体时,在发生体两侧产生交变的压力差,在此压力差的作用下,流体产生吸入、吹出作用,导致热丝温度降低,引起它的电阻减小,从而破坏测量电桥平衡,输出电压信号。
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体积流量的表示方法
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min),智能流体数字控制模块, 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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使用质量流量控制器注意事项
使用质量流量控制器有四怕:
怕粉尘,智能流体数字控制模块公司, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
第二怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
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