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质量流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小，智能流体数字控制模块哪家好， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压，青海智能流体数字控制模块， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点，智能流体数字控制模块厂家， MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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体积流量的表示方法
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，智能流体数字控制模块多少钱， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。
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第6年
