在的八个元素中,我们知道,除了白银以外(计价以千克计算),其余都是以克为计算单位,而且需保留小数点后至少二位数,银蒸发镀靶材加工,市场价除白银在万元/千克以内,其余少则几万元,多则几十万元每千克,甚至像铑出现过百万元以上每千克的价格,所以之贵,真是名副其实,毫无。
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但是靶材制作困难,这是因为氧化铟不容易烧结在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作为烧结添加剂,能够获得密度为理论值的93%~98%的靶材,这种方式形成的ITO薄膜的性能与添加剂的关系极大。日本的科学家采用Bizo作为添加剂,Bi2O3在820Cr熔化,在l500℃的烧结温度超出部分已经挥发,这样能够在液相烧结条件下得到比较纯的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是纳米颗粒,这样可以简化前期的工序。
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