从化ULVAC爱发科分子泵技术升级诚信企业“本信息长期有效”

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保养

1、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。

2、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。

3、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，真空泵，再投入正常工作。

4、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。广州真空泵维修服务公司

5、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在点运转，才能获得节能效果

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，真空泵机组维修，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

油式旋片真空泵使用

和所有转动设备一样，油式旋片真空泵开机前需要在电机风叶处手动盘车，检查泵内是否有异物卡住。之后加相应型号真空泵油到指ding油位且在使用一周内或工作100 h 换油，因为新配件可能会产生杂质影响抽真空效果。禁止在泵进口放有容易被吸入泵内的东西，泵出口如有手动阀门一定要处于开启状态。然后点动，检查转向是否正确再继续运转。进口管线尽可能短易于保持密封性，以免泄漏减少真空度。

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真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，主要原因是磨损时间过长，密封件损坏或装配不良—未压紧和上紧螺钉时用力不均—而造成。发现某处漏油时，维修工作者和操作者应立即采取措施，不应习以为常，认为“小毛病”不伤大雅而听之任之。否则长此以往将引起泵漏气或损坏。漏油并不难解决，只须先放出泵油，拆开泄漏处以调换密封件即可。前已介绍过轴封漏的解决办法，对放油孔渗漏，可用铅板、橡胶纸板、耐油真空橡皮板等作成垫换上，对油窗等其他密封处漏油可同样处理。箱体本身掺漏较少见，多由砂眼引起，可用环氧树脂等堵漏剂将其封死。

泵压过程结束后，我们强烈建议开启气镇阀让真空泵继续运行15 分钟左右，这样那些残留在泵体内的蒸汽就可以通过排气装置排出。这一过程重新生成工作液，防止停顿腐蚀和可能出现的泵故障。  

必要的泵前泵后操作可以通过计时工具轻易地集成到控制器中。如果系统需要气镇低于1 至2 hPa 的极限压力，则需要使用双级旋片式真空泵。值得注意的是，双级旋片式真空泵的蒸汽耐受性和蒸汽容量将会低于单级泵。

分子泵是高速运转的机械设备，滚动轴承常见故障很有可能会导致泵叶子粉碎立即损毁；而当滚动轴承运行状态欠佳时，会出现一系列的状况，如分子泵无法启动，运作噪声扩大，溫度或输出功率出现异常提升等，在清除外部自然环境和进排气管工作压力过高外部要素后，应尽早停泵，送至维修站开展维修。

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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修

真空常见故障、产生原因

1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通，泵腔内没有保持适当的油量

2.泵运转中温升太高，使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大，使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当，端盖板螺钉松紧不一，转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修

3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量， 清洗时用高压空气吹通油孔，ULVAC爱发科分子泵技术升级，把沉积物清洗干净通冷却水降温， 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合，调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈，拧紧气镇阀电动机超负荷运转，甚至转不动， 发生“ 卡死”现象 。

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