准分子(Excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。分子气体:二氧化碳激光和氮气激光是常见的分子气体激光,其主要激光光分属红外线(10,640 nm)及紫外线(337 nm)。生物组织中的水分会吸收它的10,640 nm激光光,所以能用于手术,所需激光光功率约为50W。此外,非金属材料的加工、金属表面的热处理、光谱学及光化学研讨、环境遥测、测距、激起其他激光、发生离子体(俗称电浆;Plasma)等,也都可用二氧化碳激光来进行。激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体,对气体质量要求高,激光混合气配制精度要求高,高纯二氧化碳纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯氦气的纯度要求99.999%,二氧化碳是产生激光的,氦气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。
激光切割机用的激光混合气体,二维激光切割机床用的四元激光混合气体,激光混合气定制,主要用于钢材的钣金加工。中性原子激光与离子气体激光的差别,在于前者的激光光来自中性原子能阶之间的跃迁,后者是离子的能阶( 如Ar+,Kr+ )间之跃迁。因此,氩激光(Argon laser)与氩离子激光(Argon ion laser)并不相同,前者的激光光波长属于红外线波段,后者则在可见光和紫外线区。金属蒸汽离子激光中,氦镉(He-Cd)激光是的,氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。氦镉激光的325 nm紫外线,和441.6 nm蓝光,是常见的输出。加上特殊设计时,它可同时发生红光(635.6及636.0 nm)和绿光(533.7及537.8 nm)。它的短波长成分,在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出,激光混合气价格,几乎能够发生一切可见光的颜色,因此它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高,使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。
如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,激光混合气,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。
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