广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel真空泵 分子泵养护
半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,Alcatel真空泵维护保养,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护
罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器,用于真空泵的噪声治理。分子泵养护
转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外,还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好,泵在运转时转子温度低于外壳温度,白云区Alcatel真空泵,大泵常采用这种方式。 分子泵维修,例如在80Torr压差下工作时,罗茨真空泵转子温度较外壳低78度,同时还发现泵负荷越重时,则间隙越大,这是因为转子用油冷却,温度比壳体低,负荷越大,壳体膨胀越厉害,轴间距加大,所以间隙会增大。
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel真空泵 涡轮分子泵维修中心
水环式喷气式飞机机械泵组的特性是能够 提升水环式泵的限工作压力和泵效。液环泵。由于单独二级水环泵的限工作压力为2001080a-4001080a,因此 当工作压力高过4000Pa时,Alcatel真空泵维修,泵效一般不稳定,伴随着人口压力的减少,泵效会慢慢趋向零。水环式喷气式飞机泵不但具备较低的限工作压力,并且在工作压力较低时也具备较高的泵效。涡轮分子泵维修中心
电缆线安裝常见问题
①、对正槽孔插进
②、用螺帽扭紧,边插边拧
③、查验及时。涡轮分子泵维修中心
在真空泵的入口管路处安置真空膜盒继电器或电接点真空压力表等压力敏感元件。真空系统启动后,当真空泵入口处压力低于给定值(泵允许启动压力)时,压力敏感元件发出信号,Alcatel真空泵维修服务,经电气控制系统开启真空泵(如真空系统中装有真空泵旁通管路,则同时关闭旁通管路阀门)。若泵入口压力高于规定值时,则自动关闭真空泵(或同时打开泵旁通管路阀门),从而保证了真空泵的可靠运转。
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel真空泵 分子泵升级改造
旋片泵为双级结构,是由高压级与低压级二部分组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时,高压级排气阀片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使设备获得更高的真空。分子泵升级改造
真空泵抽不出液体
1.没有灌注液体。解决方案:重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案:消除杂物
3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案:检修吸入管路并排净气体
4.吸上高度超过允许范围。解决方案:按允许吸上高度重新按装真空泵
5.压出管路太细,管路损失太大。解决方案:换适合的压出管路
6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案:重新选真空泵
7.输送热的、挥发性的介质。解决方案:降低吸程或采用倒灌按装。
8.转向反了。解决方案:纠正转向
压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。 泵对氢的压缩比很小,一般为1000左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为110-7Torr(13.33Pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为110-10Torr(13.33nPa)。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。分子泵升级改造
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