背靶的选择
对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶,厚度在3mm左右
导电性好:常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;
强度足够:太薄,易变形,不易真空密封。
结构要求:空心或者实心结构;
厚度适中:3mm左右,太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。
铟焊绑定的流程
1.绑定前的靶材和背板表面预处理
2.将靶材和背板放置在钎焊台上,升温到绑定温度
3.做靶材和背板金属化
4.粘接靶材和背板
毛刷辊在板带热镀锌,酸洗,彩涂等生产线中起到举足重轻的作用。钢铁业中的毛刷辊制作工艺主要有螺旋缠绕式,内焊拼装式,螺旋咬合型刷片组装式。刷丝一般采用直径为0.5尼龙曲丝或磨料尼龙曲丝。就使用寿命周期而言咬合型刷辊占主导地位,它是由单片刷套、键、毛刷辊辊轴、端板组成为整体毛刷辊组装的形式。尼龙刷毛制成单片刷套,将单片刷套组合,并压合在刷辊辊轴上,哪里有银垫圈,由键和两端的端板固定后,哪家有银垫圈,对尼龙刷毛外圆周进行整体车削。具有结构简单、设计合理、使用寿命长的特点可增加在刷辊辊轴有效长度上单片刷套安装数量 10%左右。
绑定的适用范围
技术上来说表面平整可进行金属化处理的靶材都可以用我司铟焊绑定技术绑定铜背靶来提高溅射过程的散热性、提高靶材利用率。
建议绑定的靶材:
ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;
锡、铟等软金属靶;
靶材太薄、靶材太贵的情况等。
但下列情况绑定有弊端:
1.熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;
2.贵金属靶材,滁州银垫圈,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。
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