近年无尘室的发展迅速,随着我国现代工业的发展,产品制造过程中对生产环境的要求越来越高。许多电子生产厂家为保证其产品质量、延长产品的使用寿命都使用净化室车间进行生产工作,以涉及到应用电子、电器、机器、等相关行业中,等级从百级到千级不限。某电子净化车间装修工程项目,在历经连月来的施工,目前工程已完工,该项目主要围绕中央空调系统,排进风系统,空气净化系统,氮气等系统,温湿度控制,彩钢板,传递窗,风淋室等安装项目。
净化方案一:组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口:这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二:水冷柜机+增压风柜+高效送风口:与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
和其他产业不同,黄光净化车间设计,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。
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