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通过螺母套7带动壳体1作往复运动。活塞2与柱塞3固定在支架4上。当壳体1向左运动时,活塞缸右腔容积减小,向系统排出压力油,此时柱塞缸腔容积增大,从油箱中吸油。当壳体1向右运动时,活塞缸右腔容积增大,从油箱中吸油,此时柱塞缸腔容积减小,向系统排出压力油
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气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,EGE过程传感器,气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种:(1) 往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,厦门EGE,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。
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⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
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