首先,包银导电辊哪家好,浸泡过的无绒软布清洁;第二部用酒精清洁;第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。
第四步用高压低水气的气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
短路及密封性检查:靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象。
靶材保养:为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。
靶材储存:我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中,包银导电辊加工, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下,以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装,我们建议少需要包装在洁净的塑料袋中。
在2005年后,由于外购银泥发生变化,杂质含量变动很大,采用原有的工艺根本无法再生产高纯银。经熔炼后生产的阳极板质量为,Au % 3.11~ 9.98%,Ag 68.76% ~84.62%,Cu 0.14%~1.76%,
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