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分子泵叶片破碎是什么原因造成的呢?

1、错误操作：比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，进口普发分子泵TPH330维修，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。shou先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。.

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

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德国普发是世界上zui大的真空分子泵生产商之一，Pfeiffer TMH521-德国普发分子泵维修-广州潽拓光电科技有限公司zhuan业维修德国普发分子泵，Pfeiffer TMH521  ，Pfeiffer TMU521  德国普发中期生产的真空分子泵，其转速为38000rpm， 对应Pfeiffer TC600 及Pfeiffer DCU300，Pfeiffer TMH521对应口径有ISO100及ISO160-K，CF接口的Pfeiffer TMU521有CF100及CF160 两种口径，广泛用于镀膜行业及中型科研行业。

干式旋片真空泵的特点：

1、由于干式泵不会产生油蒸气体，阳江进口普发分子泵，因此生产车间环境及被处理的物品不受污染，是使用在净化车间等工业中Z理想的真空设备。

2、与水环真空泵比较，水环泵受地理、资源的限制，且造成水资源的严重浪费。同时工作时会使生产车间湿度激增，极易造成物品受湿变质，进口普发分子泵TPH270维护，而干式泵就不存在这些问题。

3、干式泵不需加油加水，所以和一般其它真空泵相比，经常性的维护保养工作可大大减少。

4、干式泵引用多叶片的高速运转，避免了一般其它真空泵吸排气的脉冲波动，输吸气非常稳定。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

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真空泵维修后的安装要求

1.安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

2.安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

3.安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

4.为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表

5.保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

6.安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

德国普发Pfeiffer分子泵控制器TC600适用于：

Pfeiffer TMH071分子泵，Pfeiffer TMH071P分子泵

Pfeiffer TMH261分子泵，Pfeiffer TMH261YP分子泵

Pfeiffer TMH521分子泵，进口普发分子泵TPH510，Pfeiffer TMU521分子泵

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Pfeiffer TPH2101P分子泵，Pfeiffer TPH2101UP分子泵

因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打，磁铁的磁性容易，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红外加热管中的加热丝。当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。

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