直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100 mm,高50 mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。
观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10 nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电子显微镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。
现代的TEM经常装备有允许操作人员将样品倾斜一定角度的夹具,以获得特定的衍射条件,而光圈也放在样品的上方以允许用户选择能够以合适的角度进入样品的电子束。这种成像方式可以用来研究晶体的晶格缺陷。通过认真的选择样品的方向,不仅能够确定晶体缺陷的位置,也能确定缺陷的类型。如果样品某一特定的晶平面仅比强的衍射角小一点点,任何晶平面缺陷将会产生非常强的对比度变化。然而原子的位错缺陷不会改变布拉格散射角,因此也就不会产生很强的对比度。像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,束斑可以看成是一个衍射波,中间呈类似高斯分布,只要半高宽和像素大致相等则视为匹配。而此时束斑的大小是大于像素的。
而且扫描电镜是靠电子束的扫描运动,透射电镜EDS技术服务,只要不同像素点覆盖区域的电子产额能够被探测器有效处理和区分,那电镜图片也就能区分。所以扫描电镜是完全可分辨比束斑更小的细节的,而有点地方说扫描电镜不能区分比束斑更小的说法是不够严密的。束斑是单点像素1.3~2倍左右,都是匹配的条件。
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