喷淋清洗机由电子控制高压水泵储液箱组成,高压喷淋清洗机操作简单,故障少,原理是利用高压喷淋结合清洗剂的化学去污等作用,清洗后工件表面干净,顺势研发出单工位旋转喷淋清洗机。
现有的旋转喷淋清洗机在使用时存在着一定的问题,在使用旋转喷淋清洗机时操作门关闭较为复杂,密封性不好,由于旋转喷淋清洗机内部利用水源清洁,所以需要一定的密封性来放置内部水源的泄漏,以便减少清洁和工作难度,但现有旋转喷淋清洗机操作门在关闭时较为复杂,不仅操作难度较大,同时浪费了时间,降低了工作效率,同时会存在一些水源泄漏的情况,耽搁了工作进展,带来了经济损失的问题,为此我们提出单工位旋转喷淋清洗机。
旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程,减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果,使得硅片表面的溶液更加均匀,同时,全自动单工位旋转喷淋清洗机定制,接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的,这样就可以做到通过工艺时间设置,全自动单工位旋转喷淋清洗机定制,控制硅片的清洗腐蚀效果,实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发,减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂,在使用时到达喷口之前才混合,使其保持鲜,以发挥潜力,这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口,使其形成很细的雾状,至硅片表面达到更好的清洗目的。
单工位旋转喷淋清洗机,包括主体、主体中间的固定机构和主体底端的拆卸机构,所述固定机构包括固定柱,所述主体的顶端设置有顶壳,所述顶壳的中间设置有操作门,所述固定柱位于操作门的内侧两端,所述操作门的一侧对应于固定柱的位置处设置有连接螺栓,所述连接螺栓的一侧中间对应于固定柱的内部设置有齿轮,所述顶壳的内部两侧对应于固定柱的位置处设置有固定杆,所述固定柱的内部两侧对应于齿轮的位置处设置有齿槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1.通过齿轮和固定柱的设置,有效的使得旋转喷淋清洗机关闭操作门更加便利,只需旋转齿轮带动固定柱卡合固定,不仅使用简便便利,同时节省了时间,使得密封效果较好,有效的放置了旋转喷淋清洗机内部水源的泄漏,且旋转喷淋清洗机清洗后工件表面干净,性能稳定,操作简单,使用寿命长,无死角喷淋,让工件表面及内部无污物残留,降低了工作难度,手动单工位旋转喷淋清洗机定制,减少了经济损失。
2.限位滑槽和限位板的设置,有效的使得旋转喷淋清洗机检测维修更加方便,限位板只需通过限位滑槽便可简单的拆卸,使得旋转喷淋清洗机内部展现出,降低了工作难度,合肥单工位旋转喷淋清洗机定制,节省了时间,增加了旋转喷淋清洗机的使用寿命,增加了工作效率和经济效益。
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